特種氣體是為特定領域設計的氣體,具備對純度、品種、性質的特殊要求。它們廣泛應用於半導體、LED、光纖光纜、醫葯等新興行業,成為工業氣體市場規模增長的新動力。特種氣體的分類多種多樣,如按照化學成分可分為硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物等。在集成電路中,它們可以分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發光二極體用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積(CVD)用氣體、載運稀釋氣體等類別。四氯化硅(SiCl4)既屬於硅系氣體,又可作為外延氣體和CVD氣體。特種氣體主要包括電子氣體、醫療氣體、標准氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等。
電子氣體廣泛應用於集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工製造過程,包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等環節,是關鍵性化工基礎材料,被譽為電子產業的「糧食」和「源」。現有特種氣體約260種,可配製成25000多種混合氣體。電子特種氣體是僅次於矽片和硅基材料的第二大市場需求半導體材料,2016年國內市場需求達48.02億,佔比14%。高端產品被國外壟斷,主要生產廠家包括美國氣體化工、美國普萊克斯、日本昭和電工、德國林德集團、法國液化空氣、日本酸素等。2012年至2016年,國內電子氣體企業實際生產銷售額佔中國晶圓製造電子氣市場需求的比例從3.8%增加至25.0%,但生產總量仍無法滿足國內市場需求,電子特種氣體品種及產量亟待提升。
特種氣體行業的供應鏈涉及氣體原料、裝置、運輸和客戶。客戶對氣體產品存在多元化需求,往往在某一終端產品的製造中需要幾十種氣體。出於成本控制、倉儲管理、供應穩定等考慮,客戶傾向於在一家氣體公司采購,因此氣體公司需要覆蓋更多的氣體種類,提供一站式用氣服務,包括氣體運輸、裝置處理、檢修、潔凈、維護等。全球工業氣體市場容量穩步增長,預計2018年為1220億美元,年均復合增長率9.80%。特種氣體行業壁壘較高,包括技術壁壘、客戶認證壁壘、營銷網路與服務壁壘、服務壁壘和資質壁壘。生產特種氣體需要經過多項工藝和技術加工,滿足下遊客戶,特別是極大規模集成電路、新型顯示面板等精密化程度高的產業需求。此外,氣體公司需要投入大量資源進行營銷網路建設,提供綜合服務,滿足客戶多品種、小批量、高頻次的需求。
目前,全球主要的特種氣體生產商包括林德集團、液化空氣集團、空氣化工產品集團、普萊克斯集團、昭和電工等,而國內的主要廠商有華特股份、中船重工七一八所、黎明化工研究院、綠菱氣體、金宏氣體、南大光電等。中國特種氣體行業在20世紀80年代隨著電子行業的發展興起,雖然發展迅速,但與國外相比仍較單一,且級別不高。在集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等高端領域,海外大型氣體公司占據了80%以上的市場份額。近年來,國內特種氣體行業已逐步實現部分產品的進口替代,預計未來在國內產業升級過程中需要大量使用特種氣體,且其原料在國內較為容易獲得,傳統的國外公司生產及進口銷售模式已無法滿足國內特種氣體大規模生產的需求。因此,預期中國的特種氣體會大量國產化。
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參考資料:
氬氣 - 工業用途
1、氬是目前工業上應用很廣的稀有氣體。它的性質十分不活潑,既不能燃燒,也不助燃。在飛機製造、造船、原子能工業和機械工業部門,對特殊金屬,例如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼在焊接時,往往用氬作為焊接保護氣,防止焊接件被空氣氧化或氮化。
2、在金屬冶煉方面,氧、氬吹煉是生產優質鋼的重要措施,每煉1t鋼的氬氣消耗量為1~3m3。此外,對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉,以及電子工業中也需要用氬作保護氣。
、用於燈泡充氣和對不銹鋼、鎂、鋁等的電弧焊接,即「氬弧焊」